JB/T 7621-1994 电力半导体器件工艺用高纯水

K46中华人民共和圜机械行业标准JBT7621-1994电力半导体器件工艺用高纯水1994-12-09发布199506-01实施中华人民共和国机械工业部发布中华人民共和国机械行业标准JBT7621-1994电力半导体器件工艺用高纯水1主题内容与适用范围本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水(下称高纯水)的级别、技术要求、测试方法和检验规则本标准适用于去离子处理后的高纯水2引用标准GB11446电子级水及其检测方法3术语3.1电导率 electrical conductivity在规定温度下,1cm2水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以ws/cm为单位。纯水的理论电导率为0.0548μs/m(25℃时)3.2电阻率 resistivity电导率之倒数.纯水的理论电阻率为18.3Ma·cm(25℃时),温度升高吋电阻率下降33颗粒性物质 granular substance除气体以外,以非液态形式分散在水中,并形成非均匀相混合物的物质34总有机碳(TOC) otal organic carbon水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。3.5总固体 total solid水样蒸发、烘干后残留的固体总量3.6全硅 total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量,全硅和可溶性硅之差即为胶体硅。3.7高纯水High- pure water, ultrapure water电阻率在5Ma,cm以上,各种形式存在的物质含量有一定规定限制的很纯净的水3.8原水 raw water纯化处理之前的水。常用的原水有自来水、井水、河水等3.9終终端 terminal高纯水生产流程中经过各道净化工艺后,水的出口或使用地点。可分别称为制水终端和用水点3.10微量 micro- amount试样量在1mg左右3.11痕量 trace amount试样量在1gg左右312百万分之-(ppm) part per million重量比的量,相当于每百万重量的溶夜中含一单位重量的溶质,在水质分析中,一般也认为相当于机械工业部1994-12-09批准1995-06-01实施JB/T7621-1994每升水样含杂质的毫克数(mg/L)3.13十亿分之-(ppb) part per billion重量比的单位,相当于每十亿重量单位重量的溶液中含一单位重量的溶质,在水质分析中,一般也认为相当于每升水祥含杂质的微克数(#g/L)。4高纯水的级别4.1高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水,分别用符号EH和pH标志。42电子级高纯水4.2.1在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点:具有精细图形结构b.对器件表面有特殊要求工艺对水质有特定的严格要求。4.2.2电子级高纯水分为两个级别:特级和I级。它们的标志分别是特级电子级高纯水:EH-T级电子级高纯水:EH-I43普通高纯水4.3.1普通高纯水用于一般电力导半体器件的制造工艺中4.3.2普通高纯水分为三个级别;I级、I级和级。它们的标志分别是:I级普通高纯水:pH-II级普通高纯水:pHI-Ⅲ级普通高纯水:pH一4.4电阻率低于5M·cm的水不能称为高纯水5技术要求5.1电子级高纯水5.1.1电子级高纯水应考核四项内容盘.水中自由离子浓度(主要影响电阻率)b.水中悬浮微粒的数量和大小;水中有机物总量d.水中细菌微生物状况,5.1.2电子级高纯水的各项技术指标由表1给出,表1指标EH--TEH→I电阻率M2·cm(25℃)90%时间)(90%时问大于1pm微粒数个/ml大于0.5Hm微粒数(最大值)个/ml150细菌个数个/ml总有机碳含量(最大值)-g/L50100JB/T7621-1994续表1指标级别EH→TEH-I全硅(最大值)g/L氯含量(最大值)g/L0.5钾含量(最大值)g/L0.2钠含量(最大值)g/L钙含量《最大值)p8/L铝含量(最大值)pg/L铜含最(最大值)g*g/L总可溶性固体含量(最大值)四g几105.2普通离纯水5.2I普通高纯水主要考核其电阻率。522普通高纯水的技术指标由表2给出。表2指标级别HH一电阻率(25℃)MQ12~158~<125~<8大于1m的微粒数个/ml总有机碳含量g/L全硅kg几L<1006测试方法和检验规则6.1电阻率测试方法61.1用电导率仪测量高纯水电阻率时:电导池常数选用0.1~0.01cm-1b.被测高纯水应处于密封流动状态,避免任何气体混入,流速不低于0.3m/6.12在t℃时测得的电阻率值P,用下式换算成25℃时的电阻率p25ea(G1)+0.05482式中:P2;-26℃时的电阻率,MQ·cm;A—tC时电阻率,Ma·cm;G,—t℃时理论纯水的电导率,μs/cm。其值见附录A;a——t℃时修正系数。其值见附录A;0.05482—25℃时理论纯水电导率,s/cm。6.2其它技术指标测量方法执行GB11445~GB1146.11中有关规定。6.3检验规则6.3.1各个级别高纯水的电阻率为经常必测项目6.3.2对电子级高纯水,用水单位还应根据生产要求制定对微粒数、痕量金属、细菌、有机物及二氧化硅等各项技术指标的检验规则。JB/T7621-19946.33制水工艺条件改变时,应及时对表1或表2中各项技术指标全面检验。6.3.4所有测量均应在制水终端和用水点两处测量.制水终端水的质量称为制水水质;用水点水的质量称为用水水质。对普通高纯水,用水水质和制水水质应在同一级别上。对电子级高纯水,主要检验用水水质,但应给出制水水质作参考。制水水质还用于检验制水设备和技术。6.4检验标志在高纯水制水终端和用水点按要求进行检验后,若水质合格,应附标有下列内容的检验合格证盘.高纯水的级别标志;b.要求检测的技术指标及测量结果c.制水单位d.连续供水开始日期(普通高纯水可无此项);e.检验员签章及检验日期。7取样、存贮和运输7.1高纯水的取样7.11盛水容器必须使用塑料或硬质玻璃容器。用于测定硅或分析痕量成分时,必须使用聚乙烯等塑料容器7.12取样前,盛水容器应预先用先涤剂清洗干净,再用盐酸(1+1)或10%硝酸溶液浸泡48h(分析阴离子用的容器除外),然后用高纯水冲洗干净,再用高纯水浸泡不少于6h。临取样时,用待测高纯水冲洗容器不少于10次,方可取样7.13采集水样时,应先把管道中的积水放尽,并冲放5~10min,在流动状态取样。以保证水样有充分的代表性7.1.4取样的体积约为容器体积的06~0.8,不得太满。取样后,应迅速把容器盖严。7.1.5细菌分析采样容器必须经过高温消毒处理。7.2高纯水的贮存与运输7.21分析高纯水中的阳、阴离子时,采集的水样可存放72h。细菌检验时,水样存放时间不得大于72.2高纯水在贮存和运输时,应检查容器盖是否密封严密,装有水样的容器不能在太阳下曝晒或放在高温处。冬天要注意防冻。72.3高纯水在贮存和运输过程中,应定时记录时间、温度和气候条件等。JB/T7621-1994附录A各种温度下修正系数α及理论纯水电导率G(补充件℃1.8730.01111.625001600.0224l.2500.03081.1110.04141,0000.054820.9030.07100.8220.09080.6920.14540.6390.17400.5930.5530.25360.3540.7370JB/T7621-1994附录B电阻率的温度修正曲线(补充件)60纯水电阻率50随温度变化曲线例实测:20℃时,31M查得:25℃时3.0M9630.90.8202530354015505560温度(CJB/T7621-1994附录C各种温度下高纯水电阻率换算成25℃时电阻率的方法(参考件)在tC时测得高纯水电阻率为A,则要把它换算成25℃时的电阻率P4,换算可有计算法和查表法两种方法CI计算法如6.1.2所述,计算公式为:a(-G,)+0.05482Pt附录A给出了各种温度下a和G值。例:在33℃时测得高纯水电阻率为9Macm,把它换算为25℃的电阻率。查附录A得:a1=0.822G4=0.0908≈14M·cm0.822X(-0.0908)+0.05482C2查表法附录B给出了高纯水电阻率随温度变化的一族曲线,它是以25℃时水的电阻率一系列值为参变数的。从图中找出35℃时电阻率为9Mn·cm的对应曲线,它就是25C的电阻率为14M:cm的那条曲附加说明本标准由机械工业部西安电力电子技术研究所提出并归口本标准由西安电力电子技术研究所负责起草本标准主要起草人苗宏。閂中华人民共和国机械行业标准电力半导体器件工艺用高纯水B/T7621-1994机械科学研究院出版发行机械科学研究院印刷(北京首体南路2号邮编开本880×12301/16印张X/X字数XXX,XXXXX年XX月第X版19XX年XX月第X印刷印数1XXX定价 XXXXX元编号 XX. XXX机械工业标准服务网:htp:/www.jb.ac.cn