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SJ 20713-1998砷化镓用高纯镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法Method for the determination of 12 species of impurities including copper,maganese,magnesium,vanadium,titanium in high-purity gallium used for gallium arsenide by ICP spectrometry

标准类别：[SJ] 电子行业标准
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标准编号：SJ 20713-1998
标准状态：现行
更新时间：2022-07-11
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上一条：GB/T 25186-2010表面化学分析.二次离子质谱.由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

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光谱分析法 Determination 等离子体