GB/T 4061-2009硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

本标准代替GB4061-1983《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》。本标准与原标准相比,主要有如下改动:---增加了术语、试剂与器材;---增加了检验报告内容;---对试样尺寸的切取方向和试样处理内容增加了要求。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。本标准起草单位:洛阳中硅高科技有限公司。本标准主要起草人:袁金满。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:---GB4061-1983。