GB/T 28276-2012硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准起草单位:中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所。本标准主要起草人:崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉。