GB/T 14603-2009电子工业用气体.三氟化硼Gases for electronic industry—Boron trifluoride

本标准代替GB/T14603-1993《电子工业用气体 三氟化硼》。本标准与GB/T14603-1993相比主要区别如下:---修改三氟化硼的适用范围(GB/T14603-1993的第1章,本版的第1章);---修改规范性引用文件(GB/T14603-1993的第2章,本版的第2章);---修改三氟化硼的技术指标内容(GB/T14603-1993的第3章,本版的第3章);---增加三氟化硼采样安全要求(本版的4.1.2);---修改氮、氧(氩)含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.3);---修改二氧化硫含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.6);---增加二氧化碳、四氟化碳含量的分析方法(见本版的4.3);---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14603-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---增加资料性附录A,并把测定三氟化硼中的氮、氧(氩)、二氧化碳和四氟化碳含量的色谱切割流程图写入该附录(见附录A)。本标准的附录A 为资料性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。本标准起草单位:核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:---GB/T14603-1993。