GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定  二次离子质谱法Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定  二次离子质谱法Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry

GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry

  • 标准类别:[GB] 国家标准
  • 标准大小:
  • 标准编号:GB/T 41153-2021
  • 标准状态:现行
  • 更新时间:2022-10-25
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