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GB/T 41064-2021表面化学分析深度剖析用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry spu

标准类别：[GB] 国家标准
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标准编号：GB/T 41064-2021
标准状态：现行
更新时间：2022-10-25
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X射线光电子能谱 photoelectron Determination