GB/T 25915.12-2021洁净室及相关受控环境第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration

标准简介

本文件给出了监测粒径限值不超过0.1 um(100 nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。

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