GB/T 25915.2-2021洁净室及相关受控环境第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

标准类别：[GB] 国家标准
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标准编号：GB/T 25915.2-2021
标准状态：现行
更新时间：2022-10-24
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标准简介

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。本文件适用于粒径0.1μm~5μm粒子浓度的监测。本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子(小于0.1μm的粒子)浓度的监测，将在另一个标准中规定。

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GB/T 25915.2-2021洁净室及相关受控环境第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

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