GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法

标准简介

本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于硼锦、砷磷的掺杂浓度小于1X10（20）cm-3(0.2%)的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1X10（14）cm-3 注:硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。

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