GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性

本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1，关注悬浮粒子粒径范围为0.1 μm至大于或等于5 μm。 本文件不适用于： ——根据微生物污染评估适用性； ——对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试； ——设备和材料的可清洁性； ——设备设计及材料选择的要求； ——材料的静电、热学等物理性能； ——具体工艺场合设备性能的优化； ——测试统计方法的选用； ——当地安全法规的条款和要求。