GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片

标准简介

本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类技术要求、试验方法检验规则.标志、包装运输.贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于生产电力电子器件﹑射频微波器件及IED发光器件的外延材料用碳化硅单品抛光片。代替GB/T 30656-2014

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