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BS EN 62047-21-2014 半导体装置微机电设备 MEMS薄膜材料泊松比的测试方法 Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials

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标准编号：BS EN 62047-21-2014
标准状态：现行
更新时间：2023-05-17
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electromechanical semiconductor 薄膜材料