GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性 Geometrical product specifications (GPS ) - Surface texture: Areal- Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments

本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉（CSI）测量系统的计量特性。 33523.604-2022/ISO 25178-604:2013 　　　产品几何技术规范 （ GPS) 　　　　　表面结构区域法 第604部分：非接触 （ 相干扫描干涉 ） 式 　　　　　仪器的标称特性 Geometrical product specifications (GPS ） 一 Surface texture: Areal- Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 interferometry) instruments (ISO 25178-604:2013, ID1') 2022-12-30发 布 2023-04-01实 施 嶷 3、 翟玄 ； ； ； 翱圹 　 翻 ？ c二 飞 含 ’ GB/T 33523.604-2022/150 25178-604:2013 目 次 前 言 ？ ？ ？