GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境  第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration

本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质（包括分子、离子、原子、颗粒物）存在情况的表面洁净度分级系统。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。
注1：本文件仅考虑徽粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质．本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。
注2：本文件不涉及污染产生的过程。不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。T 25915.10-2021/ISO 14644-10:2013 洁净室及相关受控环境第10部分： 按化学物浓度划分表面洁净度等级 　 　 　 　 　 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013 , IDT) 2021-08-20发 布 2022-03-01实 施 ‘ ， 。 。 ， J吼国家市场监督管理总局小去 妒捶尹国家标准化管理委员会及”刀 GB/T 25915.10-2021/ISO 14644-10:2013 目 次 前 言 ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ 皿 引 言 ？