GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法 Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method

本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为
0.01X10¹⁸cm^-3~5X10¹⁵cm^-3。 GB/T 4060-2018 代替GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法 Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum 　　 　 　 　　 　 　 　　 　zone-melting method 2018-09-17发 布 2019-06-01实 施 厂 ？ 气 黯 膏 熹 辘 鼹 隳 欠 发 布 ＼ 淹 “ GB/T 4060-2018 月 明 吕 　　本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草 。 　　本标准代替GB/T 4060-2007《 硅多晶真空区熔基硼检验方法 》 ， 与GB/T 4060-2007相比 ， 除编 辑性修改外主要技术变化如下： 　　 — —增加了规范性引用文件GB/T 620-2011,GB/T 626-2006 , GB/ T 11446.1-2013,GB/T 25915.1- 　 　 　 　201