GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆 Quartz glass wafer for lithography

本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆 Quartz glass wafer for lithography 2017-09-07发 布 2018-08-01实 施 厂 ’ ” 、 ‘ 史 华 本 眇 型 叩 客 质 蒡 攀 鏖 攀 簪 曼 发 布 ： 唾 蛋 ／ 甲 国 国 ’ ～ ～1甘 埕 女 ”～ GB/T 34177-2017 刖 舀 　　本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草 。 　　本标准由中国建筑材料联合会提出 。 　 　 本 标 准 由 全 国 工 业 玻 璃 和 特 种 玻 璃 标 准 化 技 术 委 员 会 （ SAC/TC 447） 归 口 。 　　本标准起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司 、 中建材衢州金格兰石英有限公司 、 长沙韶 光铬版有限公司 、 中国建筑材料科学研究总院 、 国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心 。 　 　 本 标 准 主 要 起 草 人 ： 吴 洁 、 王 京