GB/T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration

本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm）的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。
本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。
注1：本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上（纳米片）、2维上（纳米纤维）或3维上（纳米粒子）具有纳米尺度的纳米物质。
注2：请注意，洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。
注3：本文件未考虑健康与安全事项。T 25915.12-2021/ISO 14644-12:2018 洁净室及相关受控环境第12部分： 监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 12: Specifications for 　 　 　 　 monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration (ISO 14644-12:2018, IDT) 2021-10-11发 布 2022-05-01实 施 寥黩隐糖艘髂‘“ GB/T 25915.12-2021/ISO 14644-12:2018 目 次 前 言 ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ 工 引 言 ？？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？