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GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法

标准类别：[GB] 国家标准
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标准编号：GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法
标准状态：现行
更新时间：2023-09-11
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标准简介

本文件描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。本文件适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。

标准截图

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碳化硅外延片表面