SJ 21590-2021 磷化铟晶片倒角工艺技术要求 Technical requirements for edge grinding process of InP wafer

本标准规定了磷化铟晶片倒角工艺的人员、环境、安全健康与环保、材料、设备和仪器等一般要求， 以及工艺流程、下艺准备、倒角、清洗、干燥、检验、标识、转运和贮存、记录等详细要求。
本标准适用于磷化铟晶片倒角工艺。 SJ 21590-2021 磷化铟晶片倒角工艺技术要求 Technical requirements for edge grinding process of InP wafer 2021-12-27发 布 2022-03-01实 施 ＠ 国 家 国 防 科 技 工 业 局 发 布 SJ 21590-2021 月 Ii 本 标 准 的 附 录A为 资 料 性 附 录 。 本 标 准 由 中 国 电 子 科 技 集 团 有 限 公 司 提 出 。 本 标 准 由 工 业 和 信 息 化 部 电 子 第 四 研 究 院 归 口 。 本 标 准 起 草 单 位 ： 中 国 电 子 禾 甘 卤 集 栩 嘤 局 案 竿 里 木标准主要起草人：史花‘ 、 掬尧漱甘旧L隧绿忍r刘瘳注涟丽霞 、 邵会民 、 付莉杰 、 王书杰 、 赵 红 飞 、 李 亚 旗 。 健 訇 ? ? 引 ? SJ 21590-