SJ/T 11865-2022 功率器件用Φ150 mm n型碳化硅衬底

本文件规定了功率器件用Φ150mm n型碳化硅(SiC)衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。 本文件适用于经抛光后制备的Φ150 mm n型 SiC衬底，晶型为4H。