SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范

本标准规定了液晶显示器生产工艺中使用超大尺寸掩膜基板装载盒范。 本标准适用于液晶显示器生产工艺中使用盛装超大尺寸掩膜基板装载盒，本标准适用于掩模基板尺寸范围为大于等于850 mm×1 200 mm，小尺寸参照执行。 本文件适用于掩膜基板自动装卸处理，尤其对于大尺寸掩模板是必不可少的。