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SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

标准类别：[SJ] 电子行业标准
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标准编号：SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
标准状态：现行
更新时间：2024-04-03
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标准简介

规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法替代SJ/T 31080-1994

标准截图

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