SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式 PECVD 设备

本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于晶体硅光伏电池用管式 PECVD 设备，产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。