集成电路及半导体行业特气安全培训丨43页pptx

01特气在IC中的应用 术语4特种气体 specialty gas 电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。大宗特种气体 bulk specialty gas 一般指单个气体设备容积大于400L的特种气体。气体纯度 gas purity 5N 纯度为 99.999%，5.5N纯度为 99.9995%。术语5GCGRVMPVMBIC制造工艺与特气的关系6衬底材料清洗液反应气光刻胶气粘粘剂反应气显影剂剥离液刻蚀液清洗液掺杂气成膜气靶材晶片清洗氧化光 阻 涂 布曝光显影去胶刻蚀清洗掺杂化学机械抛光气 相 沉 积溅射刻蚀气清洗液抛光液集 成电 路封装测试背面金属化背 面减 薄封 装材 料成膜气抛光液特气具体应用场景702特气安全事故案例特气爆炸事故案例9时间：2005年11月23日 地点：台南生产太阳能电池的MOTECH工厂 事故：硅烷钢瓶发生爆炸 损失：一人当场烧死，所有气柜、面板及管线烧毁，直接经济损失130万美金。 经过：硅烷气柜泄漏报警，操作工过去检查，打开气柜瞬间发生爆炸。特气泄露中毒事故案例10RH化工氯气泄漏事故瓶装特气事故视频1110·10燃气爆炸视频普通气瓶事故视频03特气安全风险 特气安全风险13特气间布局图14特气种类15特气爆炸极限16天然气在空气中的爆炸极限范围是5%-15%特气职业接触限值17职业接触限值(OEL)，是职业性有害因素的结束限制量值。 最高容许浓度(MAC)，工作地点在一个工作日内、任何时间有毒化学物质均不应超过的浓度。 时间加权平均容许浓度(PC-TWA)，以时间为权数规定的 8h 工作日40h 工作周的平均容许接触浓度。 短时间接触容许浓度(PC-STEL)在遵守时间加权平均容许浓度(PC-TWA)前提下容许短时间(15min)接触的浓度。12 CO 20 30特气膨胀率18氧气浓度对人体的影响19低温冻伤20-196℃ 易发生冻伤事故04安全用气要求 特气容器分类22普通钢瓶（50L及以下） Y-钢瓶（450L） T-钢瓶（980L) 集装格（940L) ISO罐（22500L) 鱼雷车（13400L)气体压缩过程23固液气三相平衡图24临界温度: 使物质由气相变为液相的最高温度叫临界温度,每种物质都有一个特定的温度,在这个温度以上,无论怎样增大压强,气态物质不会液化,这个温度就是临界温度。气体分类25压缩气体compressed gas(永久气体 permanent gas)，临界温度小于等于-50℃的所有气体。 液化气体 liquefied gas，临界温度大于-50℃的气体,是高压液化气体和低压液化气体的统称。 高压液化气体 high pressure liquefied gas，临界温度大于-50℃，且小于或等于65℃的气体 低压液化气体 low pressure liquefied gas，临界温度大于65℃的气体 低温液化气体 refrigerated liquefied gas (cryogenic liquid gas)，临界温度低于或等于-55℃,在储运过程中由于低温而液化的气体。液氮罐结构26气瓶结构27气瓶安全附件28瓶帽瓶阀防震圈爆破片易熔塞气瓶颜色标志29气瓶充装压力30气瓶制造钢印标志31气瓶定期检验钢印标志32定期检验钢印标记，可打在气瓶瓶体、铭牌或者护罩上，如图 B-4a)所示;也可打在金属检验标志环上，如图 B-4 (b) 所示.气瓶检验周期33气瓶使用年限34气瓶安全使用要求35在使用新气体前,务必阅读该气体MSDS，按要求穿戴PPE。 核对气瓶标签内容是否符合实验要求。 气瓶的外表是否存在腐蚀、变形、磨损、裂纹等严重缺陷。 气瓶的附件(防震圈、瓶帽、瓶阀)是否齐全、完好。 气瓶是否超过定期检验周期。 气瓶的使用状态(满瓶、使用中、空瓶)清晰。气瓶安全使用要求36不相容气瓶分开存放。 瓶内气体不得用尽，必须留有剩余压力。 易燃易爆液体气瓶不得放在橡胶等绝缘体上，以防止产生静电火花。 打开气瓶阀门时，人要站在气瓶出气口侧面。 开启或关闭瓶阀应缓慢，以防止产生摩擦热或静电火花。 气瓶应立放使用，严禁卧放，并应采取防止倾倒的措施。气瓶安全使用要求37装卸气瓶时，必须配好瓶帽(有保护罩的除外)，防止瓶阀受力损伤。 使用手推车移动气瓶，钢瓶在手推车上必须固定好，仅短距离才允许用手搬运钢瓶。 装卸中轻装轻卸，严禁抛、滑、滚、碰。 人工搬运气瓶时，应手盘瓶肩，转动瓶底，不得拖拽、滚动或用脚蹬踹。 卸车时，应在气瓶落地点铺上软垫或橡胶皮垫，逐个卸车，严禁溜放。 装卸氧气瓶时，工作服、手套和装卸工具、机具上不得粘有油脂。气瓶安全使用要求38气瓶放置地点不得靠近热源。 气瓶应防止曝晒、雨淋、水浸，环境温度超过40℃时，应采取遮阳等措施降温。 气瓶瓶阀或减压器有冻结、结霜现象时，不得用火烤，可将气瓶移入室内或气温较高的地方，或用40℃以下的温水冲浇，再缓慢地打开瓶阀。 严禁用温度超过40℃的热源对气瓶加热。特气安全其它要求39气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/h。 具有自燃性、剧毒性、强腐蚀性的特种气体，宜采用双套管设计。 低蒸汽压特种气体的管道应设置伴热和保温措施，加热温度不宜超过50℃。 采暖通风与空气调节 特气体站房应设置连续的机械通风，通风量应满足气瓶柜的排风要求，且特种气体站房通风换气率不应低于18m³/(h.m²)。 特种气体气瓶柜、阀门箱应设置机械排风装置。 大宗特种气体站房应设置事故通风，事故通风量宜根据事故泄漏量计算确定，但房间换气次数不应小于12次/h。事故通风应与特种气体站房环境探测器进行联锁，并应在特种气体站房外设置事故通风紧急按钮。 特种气体站房宜设置空调系统，室内温度、湿度设计参数应满足气瓶柜的要求，当气瓶柜无具体要求时，室内设计参数宜满足温度为 23℃±5℃，湿度为30%～70%的环境要求。 低蒸汽压特种气体管路应安装伴热带并用保温棉包覆管路，当管道穿越温差较大区域时应分段加热。05特气事故应急处置特气侦测器报警值设定41特气应急处置42关气疏散灭火硅烷灭火注意事项： 发生硅烷火灾时，应紧急切断硅烷气源，在未切断气源的情况下，严禁扑灭硅烷火焰。 发生硅烷火灾时，应使用水对钢瓶、储罐等进行冷却。 不应使用卤代烷类及二氧化碳灭火器。汇报