遗传算法在半导体器件参数提取软件中的实现 遗传算法在半导体器件参数提取软件中的实现

遗传算法在半导体器件参数提取软件中的实现

  • 期刊名字:微电子学
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  • 论文作者:张蓬,杨之廉
  • 作者单位:清华大学微电子学研究所,
  • 更新时间:2023-03-25
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论文简介

随着半导体器件参数的增加,目标函数的自变量空间维数变得越来越大。传统的优化算法已经不能很好地处理此类问题,主要表现在无法有效地达到目标函数的极小点。文章首先在参数提取软件中实现了遗传算法,并与传统的优化算法进行了比较,探讨了该算法在参数提取软件中的实用性,提出了将遗传算法与传统优化算法结合在一起的方法。

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