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乙二醇辅助多层硅/硅直接键合

期刊名字：半导体学报
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论文作者：杨道虹，徐晨，沈光地
作者单位：北京工业大学电子信息与控制工程学院
更新时间：2020-03-23
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微电子机械系统乙二醇键合