GB 50809-2012 硅集成电路芯片工厂设计规范 Code for design of silicon integrated circuits wafer fab

本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。眶 酵 标 准 G目 GB 50809-2012 硅集成电路芯片工厂设计规范 Code for design of silicon integrated circuits wafer fab 2012-10-11发 布 2012-12-01实 施 宝 多 ． 忆 垦 产 ！ 理 隹 岁 于 暨 烂 ： 到 色 剪 联 合 发 布 ’1边 ：书Ott:女 不u ！ 到 一 警 ！ 勿 钊 灾 国m 省 15丈 与 互 书 立 7殳J忌I司 中华人民共和国国家标准 　 硅 集 成 电 路 芯 片 工 厂 设 计 规 范 Code for design of silicon integrated circuits wafer fab GB 50809 - 2012 主编部门：中华人民共和国工业和信息化部 批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部 施行日期：2 0 1 2年1 2月．1日 中国计划出版社 ？ 2012北 ’京 　　中华人民共和国国家标准 硅集成电路芯片工厂设计规范