GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 Micro-electromechanical system technology--Test methods for tensile property measurement of strip thin films

本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。GB/T 38446-2020 　 微 机 电 系 统 （ MEMS ） 技 术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 　 　 　 　 　 Micro-electromechanical system technology- Test methods for tensile property measurement of strip thin films 2020-03-06发 布 2020-10-01实 施 国家市场监督管理总局必活 ， 国家标准化管理委员会仄”p GB/T 38446-2020 目 次 前 言 ？？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ I 1范 围 ？？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？