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微机电系统
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GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语
2023-12-01
IEC 62047-30-2017 半导体器件--微机电装置--第30部分:微机电系统压电薄膜的机电转换性能的测量方法 Semiconductor ...
2023-11-11
GB/T 42895-2023 正式版 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
2023-11-02
GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
2023-09-23
GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
2023-09-23
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2023-09-23
GB/T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 Micro-electromechanical system t...
2023-09-11
GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 Micro-electromechanical system technology--T...
2023-07-01
GB/T 34893-2017微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
2022-06-10
GB/T 34898-2017微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
2022-06-09
单片集成MEMS技术
2020-10-30
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2020-06-12
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