GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 Micro-electromechanical system technology-Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。
本标准适用于表面反射率不低于4％且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。GB/T 34894-2017 　 微 机 电 系 统 （ MEMS ） 技 术 基于光学干涉的MEMS微结构 　　　应变梯度测量方法 Micro-electromechanical system technology-Measuring method 　 for strain gradient measurements of MEMS microstructures 　 　 　 　 　 　 　 　 using an optical interferometer 2017-11-01发 布 2018-05-01实 施 厂 ” ＼ 土 查 钞 眇 型 国 罔 褰 质 苹 晦 肾 憾 蹬 簪 厦 发 布 絮 藩 ／ 甲 幽 国 豕 怀 催 怕 官 理 安 贝 云 GB/T 34894-2017 目 次 前 言 ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？